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L4514程控擴散爐-1


贵州快3走势图图表 www.elrgw.icu 儀器名稱: L4514程控擴散爐-1

儀器類型: CVD設備

應用領域: 供2英寸硅片氧化、退火等工藝使用。

技術指標:

最高溫度:1150℃;
恒溫區長度:350mm;
最大可控升溫速度(400℃~ 1150℃):15℃/min;
最大降溫速度(1150℃~ 900℃):5℃/min。

儀器品牌: 青島旭光

儀器型號: L4514-90

儀器廠家: 青島旭光儀表設備有限公司

儀器設備所屬平臺: 廈門大學薩本棟微米納米科學技術研究院 微電子/石墨烯加工測試平臺


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